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奥普光电：光栅尺是半导体设备的部件之一，一般来说部件的精度取决于整机的技术需求
贵司作为中科院的一员，为国产光刻机做了哪些贡献？奥普光电董秘：光栅尺是半导体设备的部件之一，一般来说部件的精度取决于整机的技术需求。感谢关注。投资者：公司有无响应＂质量回报双提升...
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奥普光电：光栅尺是半导体设备的部件之一，一般来说部件的精度取决于整机的技术需求
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光刻机（曝光机）光栅尺国产化开发技术分析
1、测量形式：透射式光栅 我们将采用封装在两个低膨胀率玻璃基板之间的透射光栅实现精密位移测量。2.测量精度及技术指标是否可以满足？通过采用精密光栅和高精度读头，测量精度完全可以满足。...
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【机构调研】这家微纳光学巨头已向客户提供IC芯片光刻机用定位光栅尺产品
这家微纳光学巨头光刻工具进入光子芯片、掩膜版制版领域，公司已向客户提供IC芯片光刻机用定位光栅尺产品。网站声明 联系方式...AI需求驱动业绩高增，这家“光芯片”领头羊频吹上攻号角；...
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