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光刻机再度刷新纪录，但业绩才是ASML最令人头疼的事
首台High NA EUV光刻机已完成组装4月19日，英特尔宣布，首台阿斯麦制造的High NA EUV光刻机完成组装。此外，第二台High NA EUV光刻机也被秘密发货，目前还不得而知接收方是谁。
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实现光刻机的国产替代，没那么急
早在2018年，中芯国际就花了1.2亿美元向ASML订购中国首台EUV光刻机，受到美国禁令等因素影响，至今没有收到货。不过我国现阶...
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中科院研制光刻机重大突破 国产芯片最短板终于补齐
台积电之所以能生产，是因为它的7nm工艺，来自荷兰ASML（阿斯麦）公司生产的EUV光刻机。这种设备目前全世界只有这一家公司能生产。图源：中国进出口网 作为集成电路制造过程中最核心的设备...
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尼康半导体事业部总经理：光刻机企业在中国的压力和机会
从光刻产品的制程来看，ASML日前成功交付了首台低数值孔径EUV光刻机NXE：3800E，用于制造制程精度高达2nm的芯片，再次挑战摩尔定律的极限。相比攀登制程的巅峰，这家日本老牌光刻机生产商有着...
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中国成功研制超分辨率光刻机
这个项目最主要的成果就是中国科学家研发成功世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻机，365nm波长即可生产22nm工艺芯片，通过多重曝光等手段可以实现10nm以下的芯片生产。 光刻机是半导体...
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中国国产的光刻机最小制程能达到多少？有没有国产光刻机？尹华峰博客
（比如现在仍仅提供给中芯国际14nm的DUV光刻机），国内企业更多是做技贸工的角色，无法获得核心技术。2000年左右，国家开始认识...
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光刻机巨头ASML：在合规合法情况下，持续为中国客户提供服务和支持
而前不久，中国工信部推广的国产氟化氩光刻机，照明波长为193nm，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。图据视觉中国换句话说，ASML这次介绍...
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国产光刻机往事：难，真的是难…
1973年，美国PerkinElmer公司推出首台扫描投影光刻机，这种光刻机精度高，又改变了把光掩模压在光刻胶上的技术路线，芯片生产的...
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ASML EUV 光刻机等设备短缺惹的祸，4nm / 3nm 芯片先进工艺产能进入紧张时刻
还频频表态以先声夺人，英特尔之前宣布抢下了首台新一代 EUV 光刻机，而且在首批 6 台中英特尔也占了大头；台积电则表示将在...
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