荷兰ASML不卖光刻机 华为和上海微电子竟然另有办法绕开

在光刻机上有三种光源，一种是20年前最原始的汞灯光源。二是DUV光源，包括KrF、ArF和F2。三是EUV光源，现阶段只有ASML能达到这种技术。但ASML不仅不卖给我们，还放话把图纸拿出来我们也造不出来...

超1000台光刻机！ASML亮出了“底牌”

ASML于1984年在荷兰成立，近30多年来一直在不断推进光刻技术，从UV汞灯光源的g-Line、i-Line，到DUV光源的krF、ArF、ArFi，再到EUV光源的EUV光刻机。沈波表示，ASML并不是“独行侠”，而是...

科普|荷兰ASML的EUV芯片光刻机工作流程及关键技术

最早光刻机的光源是采用汞灯产生的紫外光源(UV:UltravioletLight)，从g-line一直发展到i-line，波长缩小到365nm，实际对应的分辨率大约在200nm以上。随后，业界采用了准分子激光的深紫外光源...

ASML光刻机为啥那么重要，这故事要从芯片光刻原理说起

汞灯或氟化氪（KrF）准分子激光193深紫外（VUV）氟化氩（ArF）准分子激光157真空紫外（DUV）氟准分子激光光刻胶光刻胶又叫光致抗蚀剂。光刻胶受到特定波长光线的作用后，导致...

中国造出全球首台新式光刻机 芯片荒有救了(组图)

另日本媒体报道，中国另一家芯片制造企业中芯国际也向ASML公司订购一台价值1.2亿美元的光刻机，预计将在2019年交货。继中兴通讯、福建晋华后，据报道，美国考虑制裁中国监控设备巨头海康威视，切断芯片供应。而这会促使中国加快应用国产装备的步伐。

从光刻机的发展，看懂ASML为何是不可取替

实现光刻进步的直接方法，是降低使用光源的波长。早期的紫外光源是高压弧光灯（高压汞灯），经过滤光后使用其中的 g 线（436 nm）或 i 线（365 nm）。其后采用波长更短的深紫外光光源，是一种准...

一分钟了解ASML光刻机技术，国产光刻机差距

最早光刻机的光源是采用汞灯产生的紫外光源(UV:UltravioletLight)，从g-line一直发展到i-line，波长缩小到365nm，实际对应的分辨率大约在200nm以上。随后，业界采用了准分子激光的深紫外光源...

超1000台光刻机！ASML亮出了“底牌”

...推进光刻技术，从UV汞灯光源的g-Line、i-Line，到DUV光源的krF、ArF、ArFi，再到EUV光源的EUV光刻机。沈波表示，ASML并不是“独行侠”，而是...

智能芯片光刻技术到底是什么？为什么顶级光刻机只有ASML能够制造？图形

20世纪70—80年代，光刻设备主要采用普通光源和汞灯作为曝光光源，其特征尺寸在微米级以上。90年代以来，为了适应IC集成度逐步提高的要求，相继出现了g谱线、h谱线、I谱线光源以及KrF、ArF等准...

从光刻机的发展，看懂ASML为何是不可取替

实现光刻进步的直接方法，是降低使用光源的波长。早期的紫外光源是高压弧光灯（高压汞灯），经过滤光后使用其中的 g 线（436 nm）或 i 线（365 nm）。其后采用波长更短的深紫外光光源，是一种准...