ASML光刻机的工作原理及关键技术解析

光刻 是制造芯片的最 关键技术 ，在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开 光刻 的光刻机 巨头 ASML 为什么能成功？在芯片制造环节中， 光刻机 是核心设备。没有 光刻机 ，半导体或遭断链危机，摩尔...

ASML研制新一代光刻机，耗资1.5亿美元包含10万个部件！造价、配置堪称无敌

ASML 公司正在建造下一代 EUV 光刻机。新一代的 EUV 机器耗资 1.5 亿美元，包含 10 万个部件和长达 2 公里的布线。其中一部分正在美国康涅狄格州威尔顿市建设，成品部件将于 2021 年年底运往...

单台售价超25亿元！台积电：ASML新型光刻机太贵 旧的还够用

快科技5月15日消息，据媒体报道，台积电近日表示，荷兰光刻机制造商ASML的新型光刻机价格过于昂贵，目前不打算采购。台积电高级副总裁张晓强在技术研讨会上评论ASML的最新高数值孔径极紫外光刻...

一文看懂asml光刻机工作原理及基本构造

在半导体芯片制造设备中，投资最大、也是最为关键的是光刻机，光刻机同时也是精度与难度最高、技术最为密集、进步最快的一种系统性工程设备。光学光刻技术与其它光刻技术相比，具有生产率高、成本低、易实现高的对准和套刻精度、掩模制...

27台光刻机，ASML做出了选择，无法割舍中国市场

ASML虽然垄断着全球的光刻机市场，占有光刻机市场的份额高达60%，这成为它要价的底气，然而从去年以来全球芯片行业出现供给过剩，它的三大客户都已收紧开支，这给ASML蒙上了阴影。台积电自去年...

一文看懂asml光刻机工作原理及基本构造

上图是一张 ASML 光刻机介绍图。下面，简单介绍一下图中各设备的作用。测量台、曝光台： 是承载硅片的工作台。激光器：也就是光源，光刻机核心设备之一。 光束矫正器：矫正光束入射方向，让激光束...

大量采购ASML光刻机：国产光刻机正经历黎明前的黑暗

3.然而，国内光刻机市场目前没有平替产品，大量进口ASML光刻机意味着国产光刻机距离真正突破还远。4.中科院院士白春礼指出，过度依赖国外技术将使科研能力退化，中国人才济济，必能突破重重封锁...

动画科普：ASML光刻机到底在“刻”什么？

先进的电子制造设备，如光刻机贴片机工作的主要机构，充分解决高精度零件在加工、检测等方面的难题。01:04 核心工艺，自主可控，克洛诺斯超精密纳米级气浮平台实现了±50纳米的重复定位精度，...

光刻机到底有多难造？ASML：就算公开图纸，你们也造不出来

众所周知，在过去的这几年，ASML和其光刻机一直就是网友们关注的焦点，只不过这两天又更火了起来，因为本该在2019年年底之前交付的EUV光刻机，ASML至今未交到我国手里。当然也有人表示，既然...

ASML光刻机为什么这么抢手，看看他们对于细节的处理

ASML光刻机对于晶圆厂商炙手可热，抢购难度比春运火车票还高。上期光刻机内的水平传感系统的工作原理。由于光刻机是半透明的，导致测量结果有几个纳米的误差，因此ASML“小题大作”，发明了用...