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imec 首次成功利用 ASML High NA 光刻机实现逻辑、DRAM 结构曝光
IT之家8月8日消息，比利时微电子研究中心imec当地时间昨日宣布，在其与ASML合作的HighNAEUV光刻实验室首次成功利用HighNAEUV光刻机曝光了逻辑和DRAM的图案结构。在逻辑图案方面，imec成功图案化...
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imec 首次成功利用 ASML High NA 光刻机实现逻辑、DRAM 结构曝光
imec 当地时间昨日宣布，在其与 ASML 合作的 High NA EUV 光刻实验室首次成功利用 High NA EUV 光刻机曝光了逻辑和 DRAM 的图案结构。在逻辑图案方面，imec 成功图案...
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imec 首次成功利用 ASML High NA 光刻机实现逻辑、DRAM 结构曝光
imec 当地时间昨日宣布，在其与 ASML 合作的 High NA EUV 光刻实验室首次成功利用 High NA EUV 光刻机曝光了逻辑和 DRAM 的图案结构。在逻辑图案方面，imec 成功图案...
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imec 首次成功利用 ASML High NA 光刻机实现逻辑、DRAM 结构曝光
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imec 首次成功利用 ASML High NA 光刻机实现逻辑、DRAM 结构曝光
imec 当地时间昨日宣布，在其与 ASML 合作的 High NA EUV 光刻实验室首次成功利用 High NA EUV 光刻机曝光了逻辑和 DRAM 的图案结构。在逻辑图案方面，imec 成功图案...
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一文看懂asml光刻机工作原理及基本构造
上图是一张ASML光刻机介绍图。下面，简单介绍一下图中各设备的作用。测量台、曝光台：是承载硅片的工作台。激光器：也就是光源，光刻机核心设备之一。光束矫正器：矫正光束入射方向，让激光束...
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27亿一台！ASML展示最新EUV光刻机内部画面：不怕被偷师嘛
有网友甚至感慨，即便这些内部结构展示给国产厂商，可能真正阻碍下也没办法去逆向推演复刻。
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3D揭秘ASML光刻机的内部世界
知乎凭借认真、专业、友善的社区氛围、独特的产品机制以及结构化和易获得的优质内容，聚集了中文互联网科技、商业、影视、时尚、文化等领域最具创造力的人群，已成为综合性、全品类、在诸多领域...
asml光刻机内部结构曝光
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