投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的 ...

投影光刻机对准系统功能原理－金锄头文库

投影光刻机对准系统功能原理投影光刻机对准系统功能原理投影光刻机对准系统功能原理1对准系统简介对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到177,...

一种全息消像差方法及其投影光刻系统

应用本发明方法的投影光刻系统，包括激光器［1］、光闸门［2］、照明系统［3］、偏振控制装置［4］投影物镜［5］扩束装置［6］、掩模版［7］全息干板［8］、分光镜［9］、抗蚀剂硅片［15］.

用于微尺度复杂三维结构制造的面投影微立体光刻3D打印技术

面投影微立体光刻（Projection Micro Stereolithography,PμSL）是一种面投影光固化3D打印技术，适用于制作 微尺度的复杂三维结构，有着高分辨率、高精度、跨尺度加工、适用材料广、加工效率高...

分步重复投影光刻机同轴对准系统

第5卷第3期1998年6月光电工程OptoElectronicEngineeVOl_5，lune．NO．31998分步重复投影光刻机同轴对准系统邋5斤|’中国科学院光电技术研究所，成都，61009摘要过程，并在整机上检测了同轴对准...

投影成像光刻系统,Projection imaging photolithography,音标,读音,翻译,英文例句,英语词典

In this paper, the principles of raster projection imaging and 3D object reconstruction are introduced firstly.光栅投影成像是3维物体重建和测量的重要技术。6) image projection system图像投影系...

控制系统、光刻投影设备和控制方法（CN200810128668.9）中国专利【掌桥科研】

本发明公开了一种控制系统、光刻投影设备、控制方法和计算机程序产品，其中所述控制系统包括：设置用于测量由支撑结构所支撑的衬底的位置的第一测量系统，所述位置在第一坐标系中被测量；用于测量支撑结构在第二坐标系中的位置的第二测...

基于投影微立体光刻的3D打印技术及其应用

IJEM）上发表《基于投影微立体光刻的3D打印技术及其应用》综述，系统介绍了投影微立体光刻3D打印技术的研究背景、最新进展及未来展望。2 研究背景 增材制造，又称3D打印，是一种以数字模...

微纳级3D打印陶瓷！摩方第二代超高精密微立体光刻3D打印系统

microArch S240基于BMF摩方的专利技术—面投影微立体光刻技术（PμSL）构建，并融入了摩方自主开发的多项专利技术。摩方PμSL是一种微米级精度的3D光刻技术，这一技术利用液态树脂在UV光照下的...

分步重复投影光刻机同轴对准系统

第5卷第3期1998年6月光电工程OptoElectronicEngineeVOl_5，lune．NO．31998分步重复投影光刻机同轴对准系统邋5斤|’中国科学院光电技术研究所，成都，61009摘要过程，并在整机上检测了同轴对准...