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光刻机物镜分辨率高于70nm
投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究 [D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);年 8 周一帆;微Schwarzschild物镜的设计与MEMS制作研究 [D];华中科技大学...
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软X射线
X光线波长介于紫外线和γ射线 间的电磁辐射。X射线是一种波长很短的电磁辐射,其波长约为(0.06~20)×10-8 cm之间。由德国物理学家W.K.伦琴于1895年发现,故又称伦琴射线。伦琴射线具有很高的...
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汪立宏:提速400倍的光声成像显微镜
光声显微镜通过声学检测可以反映生物组织的光学吸收特性,可在一定程度上克服纯光学显微成像和纯超声成像的局限性,实现对生物组织的高分辨率、高对比度成像。光声成像所依据的物理基础是1880年Bell发现的光声效应...
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说明提高光学显微镜分辨率的四种方法。
显微镜的分辨率是指能被显微镜清晰区分的两个点的之间最小间距离的能力。其计算公式是σ=λ/NA式中σ为分辨率;λ为光线的波长;NA为物镜的 数值孔径 (NA=nsina/2,n为介质的 折射率 ,a为孔径角,即样品对物镜孔径角).可见物镜的分辨率是由物镜的NA值与照明光源的波长两个因素决定.NA值越大,照明光线波长越短,则σ值越小,分辨率就越高.
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几秒内!显微镜投影光刻实现高分辨率制造
A:采用基于UV—LED的显微镜投影光刻系统的草图;B:工艺链示意图,包括从结构设计到最终投影光刻的步骤;C:使用MPP制造的高分辨率光栅;D:通过MPP实现的低于200纳米的特征尺寸。上部和下部所...
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显微镜投影光刻实现高分辨率制造
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