求索于微观尽头—谈谈我眼中的光刻技术

要想谈光刻技术，首先需要知道什么是光刻技术。简单来说，光刻技术就是用光化学反应（photo–chemical reaction）原理，把想要的图形「印刷」到晶圆（wafer）上的过程。这么说来，光刻工艺真不应该叫刻，应该叫印。毕竟一个一个一个晶体...

ASML科普，EUV光刻机的奇迹之路

美国和荷兰的实验室很快也开始探索这一潜在的光刻技术新发展。最初被称为“soft x-ray”光刻，“extreme ultraviolet”这个名称的灵感来自天文学家对相同光波长和光子能量使用的术语。在光刻技术中，使用较短的光波长使芯片制造商能...

EUV光刻，日本强在哪儿？

随着摩尔定律发展，芯片工艺不断向更小的节点发展，传统的深紫外（DUV）光刻技术已经遇到了物理极限，无法满足更高分辨率和更低成本的要求。因此，极紫外（EUV）光刻技术应运而生，它使用13.5nm...

日本买的EUV光刻机开始安装，准备造2nm芯片

极紫外光刻设备结合了特殊的光源、透镜和其他技术，以形成超精细的电路图案。因为系统的体积较大，因此对振动和其他干扰的敏感度较低。11月，Rapidus CEO 小池淳义带ASML监事会成员Martin van ...

市占高达90%，日本持续发力EUV光刻胶

其他日本光刻胶大厂，包括JSR与东京应化工业公司，也同时在日本与海外生产EUV光刻胶，而住友化学和富士胶片（Fujifilm）则准备进入这一领域。延伸阅读：什么是光刻胶 光刻胶是微电子技术中微细...

EUV光刻，日本强在哪儿？

随着摩尔定律发展，芯片工艺不断向更小的节点发展，传统的深紫外（DUV）光刻技术已经遇到了物理极限，无法满足更高分辨率和更低成本的要求。因此，极紫外（EUV）光刻技术应运而生，它使用13.5nm...

光刻技术新进展

紧随Intel之后，欧洲的ASML、日本的Nikon和Canon浸入式光刻机计划纷纷出笼。尼康公司不久前宣称浸入式光刻技术开发已进入尾声，去年年底已把用于 65纳米节点的试用机给客户，量产机也将于今年年底推出。 但浸入式光刻仍面临巨大...

日本人还没封死的光刻胶，我们已经火烧眉毛了！传感器专家网

就在最近，日本产业革新投资机构（JIC）同意要 收购全球最大的日本光刻胶巨头JSR，它拥有全球3成左右的光刻胶市场份额。收购价接近 1万亿日元（9093亿日元），约合464亿人民币。而这家投资机构...

日本光刻胶要断供？

作为半导体制造重要材料，由于技术壁垒和客户壁垒较高，全球半导体光刻胶市场集中度一直很高，市场长期被日美厂商垄断。在全球各类芯片纷纷缺货之际，行业媒体报道称，由于日本信越化学KrF光刻...

EUV光刻，日本强在哪儿？

随着摩尔定律发展，芯片工艺不断向更小的节点发展，传统的深紫外（DUV）光刻技术已经遇到了物理极限，无法满足更高分辨率和更低成本的要求。因此，极紫外（EUV）光刻技术应运而生，它使用13.5nm...