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投资者提问：请问贵公司的光栅尺可以用于光刻机、工业母机和人形机器人吗？
公司子公司禹衡光学的光栅尺已用于工业母机，但目前暂未应用于光刻机和人形机器人。感谢关注。查看更多董秘问答>>免责声明：本信息由新浪财经从公开信息中摘录，不构成任何投资建议；新浪财经不保证数据的准确性，内容仅供参考...
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苏大维格：公司光刻机光栅尺周期精度小于1nm – 紫米财经
【紫米财经】9月7日，苏大维格在互动平台表示，制程越先进，光刻机光栅尺的周期精度要求越高，如28nm制程的光刻机要求的光栅尺周期精度小于2nm。公司相关产品周期精度小于1nm，鉴于保密信息.
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奥普光电：子公司禹衡光学的光栅尺目前暂未应用于光刻机和人形机器人
奥普光电5月19日在互动平台表示，公司子公司禹衡光学的光栅尺已用于工业母机，但目前暂未应用于光刻机和人形机器人。
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编码器和光栅尺和光刻机的关系
编码器和光栅尺是用于测量位置和提供位置反馈的设备，而光刻机是一种利用光刻技术制造微电子芯片的设备。在光刻机中，编码器和光栅尺通常用于位置控制和测量，以实现高精度的图案转移和对准。
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
光栅尺;测量精度;双频激光干涉仪;测量技术研究;定位精度;性能指标;集成电路制造;核心装备;中文摘要:1.引言作为集成电路制造的核心装备,光刻机决定了集成电路的特征尺寸和集成度。工件台是光刻机的核心分系统,直接影响光刻...
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光栅尺清洁装置和方法、光刻机.docx
因此需要定期对光栅尺表面进行清洁作业。当前清洁光栅尺表面的方法有两种，一种方法是将整个工件台拖出光刻机主体，使用溶剂和布进行人工清扫，该方法清洁效果较好，但缺点在于：易对光栅尺表面产生刮伤；以及作业周期较长，一般需要1～3天。另一种...
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奥普光电：子公司禹衡光学没有生产光刻机相关光栅尺
奥普光电：子公司禹衡光学没有生产光刻机相关光栅尺,光刻机,光栅尺,奥普光电,禹衡光学...
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互动| 奥普光电：子公司禹衡光学没有生产光刻机相关的光栅尺
奥普光电 (行情002338, 诊股 )在很多平台表示，公司子公司禹衡光学没有生产光刻机相关的光栅尺。追加内容本文作者可以追加内容哦 !
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【机构调研】这家微纳光学巨头已向客户提供IC芯片光刻机用定位光栅尺产品
这家微纳光学巨头光刻工具进入光子芯片、掩膜版制版领域，公司已向客户提供IC芯片光刻机用定位光栅尺产品。网站声明 联系方式 用户反馈 电报 话题 盯盘 VIP FM 投...
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光刻机（曝光机）光栅尺国产化开发技术分析
1、测量形式：透射式光栅 我们将采用封装在两个低膨胀率玻璃基板之间的透射光栅实现精密位移测量。2.测量精度及技术指标是否可以满足？通过采用精密光栅和高精度读头，测量精度完全可以满足。...
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