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流量控制:支持6 个或更多的 MFC’s 用于ICP高速刻蚀,带气动截止阀,所有的慢 / 快通道采用电磁阀和气动阀控制,电抛光的不锈钢气体管路带...
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ICP刻蚀——感应耦合等离子体刻蚀
ICP优点: 通过高的离子密度(>1011 cm3)和高的基团密度可以获得高的刻蚀速率 通过低的离子能量能够获得对选择比和损伤的控制 对感应耦合等离子体和电极射频的分别控制提供了高的工艺灵活性 化学的和离子诱导的刻蚀 为了某...
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ICP刻蚀机项目可行性研究报告写作参考范文
定做编写:项目可行性研究报告/建议书/立项申请报告/节能评估报告/商业计划书ICP刻蚀机项目可行性研究报告编写日期:二零二一年三月目 录第一章 总 论71.1项目概要81.1.1项目名称81.1.2项目建设单位81.1.3项目建设性质81.1.4项目建设地点81.1.5项目负责人81.1.6项目投资规模81.1.7项目建设规模91.1.8项目资金来源91.1.9项目建设期限91.2项目建设单位介绍101.3编制依据101.4编制原则11
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ICP刻蚀中的二级台阶刻蚀研究
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