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  • 浅谈高数值孔径EUV系统的好处

    高数值孔径 EUV 系统的好处可以用一个词来概括——分辨率。将孔径增加到 0.55,而不是当前曝光系统中的 0.33,可以成比例地提高可实现的临界尺寸,相对于 0.33 NA 系统的 13nm,0.5 NA EUV 可能低至 8nm。 不幸的是,目前还不存在量产的高数值孔径...

  • 高数值孔径衍射分束器设计

    关键词:衍射光学元件、DOE、高数值孔径,畸变补偿,几何畸变,枕形,桶形,强度衰减,功率、陡降、损耗、预备信号场、光图形、迭代傅里叶变换算法、IFTA、模组、分束器、衍射 1.摘要 通过该...

  • 第28章 高数值孔径镜头

    第28章 高数值孔径镜头的内容摘要:第二天一早,关雪云早早的来到了中芯制造的研究所。做为国内最顶级的光、电研究所,其在国际上也具有极高的声誉和影响力。研究所通过招聘和吸引,汇聚来了来自...

  • 分析高数值孔径物镜的聚焦

    高数值孔径物镜广泛用于光学光刻、显微镜等。因此,在聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。VirtualLab非常容易支持这种镜头的光线和光场追迹分析。通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑...

  • 高数值孔径聚焦

    2.Focusing of Partially Coherent and Circularly Polarized Bessel-Gaussian Beams Through a High Numerical-Aperture Objective 部分相干圆偏振贝塞耳-高斯光束经高数值孔...

  • 高数值孔径

    环流反应器分布器孔径对流场影响的数值模拟15.Research on High Speed Solid-State Disk of SAR;合成孔径雷达高速固态数据存储器研究16. Generally, an aperture radius ...

  • 一般高数值孔径的物镜N.A为1.25

    一般高数值孔径的物镜N.A为1.25-光学常识 说到波长,较好的分辨木领是用紫外辐射而取得的。它 是较短的可用的波长。在光谱的可见光区内,蓝光的波长第 二短,其次是绿光,再其次则是红...

  • 高数值孔径 高强度光学纤维

    数值孔径和强度是光学纤维最重要的两项性能,因此提高数值孔径和强度对提高光学纤维的应用效果具有重要意义。南京玻纤院特纤所通过多年的工艺试验和 1 张耀明;提高光学纤维数值孔径和强度的...

  • 大数值孔径

    盖片与物镜间充以某种液体而得到大数值孔径的显微镜物镜。又称浸没物镜。为消除各种像差,以便接近理想成像,油浸物镜都是经特殊设计、由几个透镜构成的透镜组。如图1,在不充液体时,载片2上的物体P发出的光束入射到盖片1以后,又折入...

  • 分析高数值孔径物镜的聚焦

    摘要 高数值孔径物镜广泛用于光学光刻、显微镜等。因此,在聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。VirtualLab非常容易支持这种镜头的光线和光场追迹分析。通过光场追迹,可以清楚地展示不...

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