氦质谱检漏仪的工作原理

我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。

培训系列之8(刘玉岱)质谱原理与真空检漏

培训系列之8(刘玉岱)质谱原理与真空检漏 3 阅读 71 页 bengchangw.上传于2025-01-20 举报/认领 图片版 合伙人(招募中)展开 本文档由 bengchangwen34 分享于2025-01-20 20:07 暂无简介 文档格式...

培训系列之8质谱原理与真空检漏课件

培训系列之8质谱原理与真空检漏课件 6 阅读 70 页 伊人膝下醉 上传于2024-01-23 举报/认领 图片版 合伙人(招募中)展开 本文档由 伊人膝下醉 分享于2024-01-23 17:23 暂无简介 文档格式：.pptx ...

常州真空检漏仪工作原理 服务为先 上海妤林真空设备供应

关于检漏仪的一些知识点：仪器的反应时间及清理时间，仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时，当氦气刚刚喷及漏孔处，即使不考虑氦气通过漏孔的时间，也不可能立

培训系列之8(刘玉岱)：质谱原理与真空检漏.ppt

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真空箱氦检漏有哪些特征

用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。工作原理根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。

真空应用设备哪些部位容易出现泄漏，应该如何检漏？

图1表示氦质谱检漏仪的原理图，在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按...