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清华大学新成果助力光刻机研发
清华大学发布最新研究成果“瞄准解决自主研发光刻机难题”，2月25日，清华大学官网消息:工物系在新型加速器光源稳态微聚束研究中取得重大进展！而据教授唐传祥表示:SSMB 光源的潜在应...
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全村人的希望！清华大学“光刻机”狂刷屏
清华大学：提出光刻机的新方案！特点：增加若干倍的体积（光刻工厂），达到EUV同样的性能。阿斯麦光刻机为了方便出口，不得不控制体积...
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全村人的希望！清华大学“光刻机”狂刷屏
清华大学：提出光刻机的新方案！特点：增加若干倍的体积（光刻工厂），达到EUV同样的性能。阿斯麦光刻机为了方便出口，不得不控制体积...
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破解“卡脖子”难题！清华团队新成果在《自然》发表：有望为EUV光刻机提供新技术路线
“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源，这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。唐传祥告诉记者。在芯片制造的产业链中，光刻机是必不可少的精密设备，是集成电路芯片...
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清华大学EUV光刻机突破？清华的正面新闻真难得！
清华大学EUV光刻机突破？清华的正面新闻真难得！来源:海螺复盘 发表时间:2023/09/15-22:04:46
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华中数控芯片光刻机唯一概念 2016年4月28日，清华大学成功研发光刻机核心设备
2016年4月28日，清华大学成功研发光刻机核心设备双工件样机 光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将设计图形制作到硅片上，并在2～3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大...
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关于国产高精尖光刻设备，清华大学再立功，ASML也没想到会这么快
关于国产高精尖光刻设备，清华大学再立功，ASML也没想到会这么快 2021-09-11 12:04:34 0 分享至 用微信扫码二维码 分享至好友和朋友圈 点击按住拖动小窗 热门视频 神十九航天员顺利...
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10年，从理论到实验，清华大学这项和光刻机相关的成果引关注
SSMB 的 EUV 光源有望解决自主研发光刻机中最核心的 “ 卡脖子 ” 难题 。 但是， EUV 光刻机的自主研发还有很长...
清华大学光刻机难题解决
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