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微导纳米申请喷淋装置专利,提高基片成膜均一性
金融界2023年12月7日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种喷淋装置、处理设备及处理设备的喷淋工艺“,公开号CN117165924A,申请日期为2023年11月。...
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微导纳米公布国际专利申请:“喷淋板、喷淋方法及处理装置”
证券之星消息,根据企查查数据显示微导纳米(688147)公布了一项国际专利申请,专利名为“喷淋板、喷淋方法及处理装置”,专利申请号为PCT/CN2023/136680,国际公布日为2024年6月20日。专利详情...
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微导纳米申请喷淋装置专利,提高基片成膜均一性
微导纳米申请喷淋装置专利,提高基片成膜均一性 2023年12月07日 20:40 本文源自:金融界 金融界2023年12月7日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种喷淋...
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微导纳米申请喷淋装置专利,提高基片成膜均一性
(原标题:微导纳米申请喷淋装置专利,提高基片成膜均一性) 金融界2023年12月7日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种喷淋装置、处理设备及处理设备的...
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微导纳米取得混气装置、镀膜喷淋装置及半导体镀膜设备专利,实现不同气体的充分混合,提高混合气体的均匀性
(原标题:微导纳米取得混气装置、镀膜喷淋装置及半导体镀膜设备专利,实现不同气体的充分混合,提高混合气体的均匀性) 金融界2023年12月18日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技...
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微导纳米公布国际专利申请:“喷淋板、喷淋方法及处理装置”
证券之星消息,根据企查查数据显示微导纳米(688147)公布了一项国际专利申请,专利名为“喷淋板、喷淋方法及处理装置”,专利申请号为PCT/CN2023/136680,国际公布日为2024年6月20日。专利详情...
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微导纳米获得实用新型专利授权:“一种喷淋装置及处理设备”
证券之星消息,根据企查查数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种喷淋装置及处理设备”,专利申请号为CN202322665018.0,授权日为2024年5月14日。专利摘要:本...
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微导纳米取得喷淋技术专利,有效提高喷淋板的出气均匀性
金融界2023年11月17日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种喷淋板、喷淋方法及处理装置”的专利,公开号CN116695098B,专利申请日期为2023年3月。专利...
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微导纳米申请装置和加工方法专利,专利技术能实现第一反应气体和第二反应气体的输出
金融界2023年11月28日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种装置和加工方法“,公开号CN117127167A,申请日期为2022年5月。专利摘要显示,本公开涉及一...
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微导纳米申请薄膜沉积装置专利,专利技术能达到良好的绝缘性能
专利摘要显示,本申请公开了一种薄膜沉积装置,包括:沿第一方向依次设置的喷淋背板和喷淋板,喷淋背板设有第七通孔;腔盖;第三连接组件,包括:第三紧固件,穿设于第七通孔,用于将喷淋背板...
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