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低温泵的工作原理是什么?
低温泵能够达到极高真空(10-11 Pa),有排气速度快、无油和安装方向不受限制等优点,其构造如图1所示。 图1低温泵的构造示意图 1—一级冷台;2—二级冷台;3—低温罩;4—屏蔽罩;5—挡板 低温泵的一级冷台上,设置屏蔽罩和挡板,温度维持在80K。二级冷台维持在15K,上面设置低温罩和活性炭吸附剂。 水蒸气凝固在80K屏蔽罩和80K挡板上;氮气、氧气和氩气凝固在15K低温罩上;氢气、氦气和氖气被吸附在15K低温罩内侧的吸附剂上。低温泵
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低温泵的原理和用途
低温泵是利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是目前具有最高极限真空的抽气泵。它主要用于大型真空系统,如高能物理、超导材料的制备、宇航空间模拟站等要求高清洁、无...
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低温泵
低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
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低温泵 工作原理
例如,在物理学实验中,低温泵可用于实现超导材料的低温制备和测试。在化学实验中,低温泵可用于控制反应体系的温度,实现一些特殊反应的进行。4.工业生产:一些工业生产过程需要在低温条件下...
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低温泵的原理和用途
低温泵作为捕获泵,能用来捕集各种包括有害的或易燃易爆气体,使其凝结在制冷板上,以达到抽气的目的。但是,工作一段时间后,低温泵的低温排气能力会降低,因此必须经“再生”处理,即清除低温凝结层。 再生时必须遵循以下几点要求: (1)一旦开始再生处理,就必须清除彻底。这是因为局部升温时会使屏蔽板上冷凝的大量水蒸气转移到内部的深冷吸气板上,严重损害低温泵的抽气能力。
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低温泵的原理和用途
低温泵是利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是目前具有最高极限真空的抽气泵。它主要用于大型真空系统,如高能物理、超导材料的制备、宇航空间模拟站等要求高清洁、无...
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低温泵
低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
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低温泵概述
置于真空容器中的低温表面具有抽气作用,这种利用低温表面冷凝、吸附气体而达到抽气目的的泵称为低温泵。一般地,人们把利用普冷温度(150K以上)的低温板捕集水蒸气、有机溶剂的装置称为冷凝器;...
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低温泵的概念和特点
置于真空容器中的低温表面具有抽气作用,这种利用低温表面冷凝、吸附气体而达到抽气目的的泵称为低温泵。一般地,人们把利用普冷温度(150K以上)的低温板捕集水蒸气、有机溶剂的装置称为冷凝器;...
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低温泵的概念和特点
置于真空容器中的低温表面具有抽气作用,这种利用低温表面冷凝、吸附气体而达到抽气目的的泵称为低温泵。一般地,人们把利用普冷温度(150K以上)的低温板捕集水蒸气、有机溶剂的装置称为冷凝器;...
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